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大口径干涉仪绝对表面形状检测技术的研究与发展

来源:大连空压机油 作者:大连空压机销售公 时间:2020-05-13 08:51 点击量:

随着光学工业及相关技术领域的发展,对光学轮廓的检测精度要求越来越高。该绝对球面检测方法可以消除参考面表面形状误差的影响,从而提高被检测面的检测精度。

此外,在天文和空间光学、高功率激光组件、超强超短激光组件、自由电子激光组件等重大项目的推动下,对大口径高精度光学元件的需求日益增加。传统的大口径光学元件干涉检测方法主要采用相对测量法。这种方法的检测精度受到仪器本身干燥平坦的晶体表面精度的限制。特别是当被测大口径光学元件表面形状的PV值要求优于0.1时,干涉仪的基准平面晶体引入的系统误差就不能再忽略了。

为此,中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与测试中心的研究团队在 600 mm直径干涉仪绝对测试技术的研究上取得了新的进展,提出了一种基于多形貌干涉原理的原位绝对表面测试技术,实现了 600 mm直径干涉仪绝对表面误差的原位测量。该方法不需要移动位移干涉仪本身的刻度透射平板晶体,也不需要扭曲刻度反射平板晶体,大大提高了测量不变性,降低了拆卸大口径干涉仪刻度平板晶体的风险,并且在获取低频波面误差的同时,不会丢失中频波面误差信息。

大连空压机维护人员提出了一种基于多外部干预原理的原位绝对表面形状检测方法。在这个过程中,绝对表面形状的测量可以通过一个辅助透射平面晶体和四组测量来完成。绝对表面形状检测方法是一种能够将基准平坦晶体表面形状误差从被测局部表面中分离出来,从而获得被测部件的绝对表面形状,并能够实现亚纳米精度的表面形状测量的方法。

该研究成果不仅可以提高现有600mm直径激光平面干涉仪的检测精度,为加工大直径高精度光学元件提供高置信度的测量结果,还可以为行业乃至国家级创造600mm直径扁平晶体测量标尺提供理论和技术支持。

中国科学院上海光学精密机械研究所成立于1964年5月。上海光学精密机械研究所成立55年来,完成了一系列重大科研项目,包括光学和激光前沿基础和应用基础的重大研究项目,以及激光应用工程的大规模研究。“申光二号”集成高功率激光组件、超强超短激光组件、激光原子冷却组件、空间全固态激光开发平台等。已建成具有高能短脉冲激光加载和自动探测光功能的,并拥有各种新型高功能激光器件、激光和光电功能材料开发平台。

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